Käytetään pääasiassa polarisaattorien valmistusprosessin veto- ja suojaamiseen (mukaan lukien PSA -liima- ja TAC -kalvo) ja pystyy täyttämään antistaattiset vaatimukset.
Polarisaattoriprosessin ohjauskalvo - GM13A -sarja
Polarisaattorin suojapohjakalvo - GM80/YM31/YM31A -sarja
Polarizer -julkaisupohjakalvo - GM81/GM81A -sarja
Ominaisuudet | Yksikkö | GM13A | GM80 | YM31 | YM31A | GM81 | GM81A | ||||
Paksuus | μm | 19 | 38 | 38 | 38 | 38 | 38 | 50 | 38 | 50 | |
Utu | % | 2.87 | 3.06 | 3.86 | 3.23 | 2,95 | 4.01 | 4.33 | 3.64 | 4.13 | |
Kutistuminen (150 ℃/30 minuuttia) | MD | % | 1,07 | 0,9 | 1.16 | 1.26 | 1.24 | 1.11 | 1,02 | 1.15 | 1,06 |
TD | % | -0.09 | 0,18 | 0,06 | 0,02 | 0,03 | -0.07 | 0,03 | 0,08 | 0,06 | |
Ominaisuus | / | Siisteys | Niukasti pintavirheet | Pintavastus 105–7Ω | Väritön, läpinäkyvä, pintavastus 109-10Ω | Erinomainen lämpötilankestävyys, niukasti pintavirheet | Suuntakulma ° °, niukasti pintavirheet |